走在路上，看着路两旁的绿树，郝强的心中满是期待。

EBL光刻机的研发历程并不平坦，经历了无数个日夜的努力与坚持，终于迎来了这个关键时刻。

他知道，这不仅仅是一台机器的测试，更是整个团队心血的结晶。

当他走进实验室时，科研人员们的脸上洋溢着兴奋的神情，空气中弥漫着紧张而期待的气息。

组长站在设备前，满脸期待地指着刚刚组装好的光刻机，仿佛是在向郝强展示一件珍贵的艺术品。

“总算组装完成了，就是有点担忧。”组长的声音中透着激动，又有一些担忧。

第一次测试，多多少少会有些问题。

小问题还好，若是大问题的话，就有可能前功尽弃。

汽车公司和锂电公司的希望全压在他们身上。

“嗯，我再次检查一下。”

郝强走近设备，仔细打量着每一个细节，心中感慨万千。

他想起了团队成员们在实验室里加班加点的日子，想起了那些熬夜调试、反复试验的身影。

每一个人都在为了这个目标而努力，付出了巨大的心血。

抚平心情，认真地检查。

其实，在组装之前，每个零部件都进行过测试了，确保总测顺利。

郝强眼前这个样机EBL001，主机尺寸长4米，宽2.5米，高约3.5米，重约3.5吨。

整个系统包括控制机柜、真空泵系统、冷却水循环系统、减振台座、操作控制台等，全套系统重约10吨。

算上这些配套设备，一台EBL光刻机就不止十平方米了，通常需要至少50平方米的，要求室内净高达到4米，且对地面稳定性有较高要求，重新打了地基，免得工作时影响了工作精度。

当然，哪怕精度是相对性的，理论上跟地面震动没有影响，但纳米级设备要求就比较高。

除了避震要求外，还要求恒温：20±1℃

相对湿度：45±5

洁净度：ss 1001000级

以及要求良好的电磁防护。

大概一个小时后，

郝强也没有发现什么大问题，但还是有些担忧，让组长开始测试。

随着组长的指令，测试正式开始。

实验室内的气氛瞬间变得紧张而激动，所有人都屏息凝视，目光紧盯着设备的反应。

随着启动按钮的按下，设备发出轻微的嗡鸣声，逐渐运转起来，显示屏上开始闪烁着数据。

“设备正常运转！”组长略有兴奋，说明路子是对的。

当然，要测试自然要拿实物硅片进行。

实验室里已经准备好了许多片涂上光刻胶的硅片，EBL光刻机与传统的光刻机不同，它无需掩膜版,直接写入。

光刻机的工作原理，简单来说，就是把硅片当成一块黑板，然后在黑板上画电路图。

而紫外线或电子束（EBL光刻机）就是粉笔，粉笔的粗细就是线条的粗细。

由于黑板大小固定，要想画更多的图，自然是粉笔越细越好，但相应地对技术要求更高，就越难画。

黑板上的一层膜，对应光刻胶。

画完图后，将硅片浸泡在腐化剂中，失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。

用专业的角度来说，

EBL光刻机与紫光光刻机有一些不同。

首先，在机器顶部的电子枪区域，场发射电子源开始工作。

在强大的电场作用下，尖锐的钨针尖端释放出高能电子束。

这些高速电子束就像一支训练有素的微观部队，整齐划一地